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目前已有大量的微型機(jī)械或微型系統(tǒng)被研究出來(lái)，例如：尖端直徑為5μm的微型鑷子可以?shī)A起一個(gè)紅血球，尺寸為7mm×7mm×2mm的微型泵流量可達(dá)250μl/min能開(kāi)動(dòng)汽車(chē)，在磁場(chǎng)中飛行的機(jī)器蝴蝶，以及集微型速度計(jì)、微型陀螺和信號(hào)處理系統(tǒng)為一體的微型慣性組合(MIMU)。德國(guó)創(chuàng)造了LIGA工藝，制成了懸臂梁、執(zhí)行機(jī)構(gòu)以及微型泵、微型噴嘴、濕度、流量傳感器以及多種光學(xué)器件。美國(guó)加州理工學(xué)院在飛機(jī)翼面粘上相當(dāng)數(shù)量的1mm的微梁，控制其彎曲角度以影響飛機(jī)的空氣動(dòng)力學(xué)特性。美國(guó)大批量生產(chǎn)的硅加速度計(jì)把微型傳感器(機(jī)械部分)和集成電路(電信號(hào)源、放大器、信號(hào)處理和正檢正電路等)一起集成在硅片上3mm×3mm的范圍內(nèi)。日本研制的數(shù)厘米見(jiàn)方的微型車(chē)床可加工精度達(dá)1.5μm的微細(xì)軸。
砂帶磨削 是用粘有磨料的混紡布為磨具對(duì)工件進(jìn)行加工，屬于涂附磨具磨削加工的范疇，有生產(chǎn)率高、表面質(zhì)量好、使用范圍廣等特點(diǎn)。國(guó)外在砂帶材料及制作工藝上取得了很大的成就，有了適應(yīng)于不同場(chǎng)合的砂帶系列，生產(chǎn)出通用和專(zhuān)用的砂帶磨床，而且自動(dòng)化程度不斷提高 已有全自動(dòng)和自適應(yīng)控制的砂帶磨床 ，但國(guó)內(nèi)砂帶品種少，質(zhì)量也有待提高，對(duì)機(jī)床還處于改造階段。 精密切削 也稱(chēng)金剛石刀具切削 SPDT ，用高精密的機(jī)床和單晶金剛石刀具進(jìn)行切削加工，主要用于銅、鋁等不宜磨削加工的軟金屬的精密加工光整加工。光整加工后的工件。這個(gè)也是后一步，同樣非常的重要。主要表面的光整度的加工（如研加工、珩磨加工、精磨加工﹨滾壓加工等），應(yīng)放在工藝路線(xiàn)后階段進(jìn)行，加工后的表面光潔度必須要達(dá)到客戶(hù)的要求，一定要確保加工出來(lái)的精密零部件安放，爭(zhēng)取做到輕拿輕放，因?yàn)檩p微的碰撞都會(huì)損壞表面，在光整加工后，都要用絨布進(jìn)行保護(hù)，不準(zhǔn)用手或其它物件直接接觸工件，以免光整加工的表面，由于工序間的轉(zhuǎn)運(yùn)和安裝而受到損傷。