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微型機(jī)械在國外已受到政府部門、企業(yè)界、高等學(xué)校與研究機(jī)構(gòu)的高度重視。美國MIT、Berkeley、Stanford﹨AT&T的15名科學(xué)家在上世紀(jì)八十年代末提出'小機(jī)器、大機(jī)遇：關(guān)于新興領(lǐng)域--微動(dòng)力學(xué)的報(bào)告'的國家建議書，聲稱'由于微動(dòng)力學(xué)(微系統(tǒng))在美國的緊迫性，應(yīng)在這樣一個(gè)新的重要技術(shù)領(lǐng)域與其他國家的競(jìng)爭(zhēng)中走在前面'，建議中央財(cái)政預(yù)支費(fèi)用為五年5000萬美元，得到美國領(lǐng)導(dǎo)機(jī)構(gòu)重視，連續(xù)大力投資，并把航空航天、信息和MEMS作為科技發(fā)展的三大重點(diǎn)。美國宇航局投資1億美元著手研制'發(fā)現(xiàn)號(hào)微型'，美國國家科學(xué)會(huì)把MEMS作為一個(gè)新崛起的研究領(lǐng)域制定了資助微型電子機(jī)械系統(tǒng)的研究的計(jì)劃，從1998年開始，資助MIT，加州大學(xué)等8所大學(xué)和貝爾實(shí)驗(yàn)室從事這一領(lǐng)域的研究與開發(fā)，年資助額從100萬、200萬加到1993年的500萬美元。把MEMS列為關(guān)鍵技術(shù)項(xiàng)目。美國研究計(jì)劃局積極領(lǐng)導(dǎo)和支持MEMS的研究和軍事應(yīng)用，現(xiàn)已建成一條MEMS標(biāo)準(zhǔn)工藝線以促進(jìn)新型元件/裝置的研究與開發(fā)。美國工業(yè)主要致力于傳感器、位移傳感器、應(yīng)變儀和加速度表等傳感器有關(guān)領(lǐng)域的研究。很多機(jī)構(gòu)參加了微型機(jī)械系統(tǒng)的研究，如康奈爾大學(xué)、斯坦福大學(xué)、加州大學(xué)伯克利分校、密執(zhí)安大學(xué)、威斯康星大學(xué)、老倫茲得莫爾國家研究等。加州大學(xué)伯克利傳感器和執(zhí)行器中心(BSAC)得到和十幾家公司資助1500萬元后，建立了1115m2研究開發(fā)MEMS的超凈實(shí)驗(yàn)室。
精密機(jī)械加工技術(shù)簡(jiǎn)介 1、精密機(jī)械加工技術(shù) 2、特種加工技術(shù) 精密機(jī)械加工技術(shù) 目前，精密加工是指加工精度為1~0.1μm，表面粗糙度為Ra0.1~0.01μm的加工技術(shù)，但這個(gè)界限是隨著加工技術(shù)的進(jìn)步不斷變化的，今天的精密加工可能就是明天的一般加工。 精密加工所要解決的問題，一是加工精度，包括形位公差、尺寸精度及表面狀況，有時(shí)有無表面缺陷也是這一問題的核心； 二是加工效率，有些加工可以取得較好的加工精度，卻難以取得高的加工效率。 精密加工應(yīng)該包括微細(xì)加工和超微細(xì)加工、光整加工等加工技術(shù)。 2 幾種常用的精密加工方法及特點(diǎn) 傳統(tǒng)的精密加工方法有布輪拋光、砂帶磨削、超精細(xì)切削、精細(xì)磨削、珩磨、研磨、超精研拋技術(shù)、磁粒光整等。光整加工。光整加工后的工件。這個(gè)也是后一步，同樣非常的重要。主要表面的光整度的加工（如研加工、珩磨加工、精磨加工﹨滾壓加工等），應(yīng)放在工藝路線后階段進(jìn)行，加工后的表面光潔度必須要達(dá)到客戶的要求，一定要確保加工出來的精密零部件安放，爭(zhēng)取做到輕拿輕放，因?yàn)檩p微的碰撞都會(huì)損壞表面，在光整加工后，都要用絨布進(jìn)行保護(hù)，不準(zhǔn)用手或其它物件直接接觸工件，以免光整加工的表面，由于工序間的轉(zhuǎn)運(yùn)和安裝而受到損傷。